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我國8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓下線

時間: 2024-03-04 14:37:38瀏覽次數:3596
最近,湖北九峰山實驗室傳來一個令人振奮的消息:他們成功研發出了全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓!這個成果非常了不起,被認為是目前全球硅基化合物光電集成最先進的技術。

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那么這個8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓有什么特別之處呢?簡單來說,它能夠實現超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規模制造,是目前全球綜合性能最優的光電集成芯片。這意味著我們的光通訊、量子通信等領域將迎來巨大的技術飛躍。

鈮酸鋰材料是一種非常出色的材料,它在濾波器、光通訊、量子通信、航空航天等領域都發揮著重要作用。但是,鈮酸鋰材料有一個缺點,就是脆性大,制備大尺寸鈮酸鋰晶圓非常困難。一直以來,業界對薄膜鈮酸鋰的研發主要集中在3寸、4寸、6寸晶圓的制備及片上微納加工工藝上。

然而,九峰山實驗室的工藝中心卻成功破解了這個難題。他們采用了一種創新的方法,將8寸SOI硅光晶圓與8寸鈮酸鋰晶圓鍵合在一起,實現了單片集成光電收發功能。這一突破性的技術不僅解決了大尺寸鈮酸鋰晶圓制備工藝的難題,還為光子集成芯片領域提供了綜合性能最優的解決方案。

近年來,由于5G通信、大數據、人工智能等行業的快速發展,光子集成技術受到了越來越多的關注。鈮酸鋰材料以其獨特的物理性能和機械穩定性被認為是理想的光子集成材料。而單晶薄膜鈮酸鋰的出現,為解決光子集成芯片領域長期存在的低傳輸損耗、高密度集成以及低調制功耗需求提供了有力的支持。

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